株式会社イルコム　UVランプ　紫外線
 ■高圧ＵＶランプ


高圧UVランプは、一重管式でアーク放電長が長く、紫外線硬化用として使用されています。種類は、高圧水銀ランプとメタルハライドランプの２種類があります。
 ■低圧ＵＶランプ


高出力低圧UVランプは高出力で且つ高効率に紫外線（波長185nm、254nm）を放出するランプです。
このランプは光洗浄、光アッシング等強力な紫外線を必要とする用途に最適な光源です。
 ■エキシマUVランプ


新開発のエキシマUVランプは １．大型基板の搬送・バッチ式の選択が可能。 ２．合成石英窓が不要 　 ３．ユーティリティー窒素が不要。 ４．積算光量（ランプ使用数）の増減が可能。この特徴により大型基板化による問題点をクリアできるようになりました。
 
 ■超高圧水銀ランプ


直流用の超高圧水銀ランプは、半導体マスクアライメントやウェハー露光などのフォトリソグラフィ分野、あるいはUV硬化型の樹脂、接着剤、塗料などの硬化・乾燥に用いる紫外線応用器の光源として開発されたランプです。
 ■光反応用ランプ

薬品・半導体製造用超純水処理など多くの分野で光ニトロソ化反応・塩素化反応・光重合・光分解などのプラントに使用されております。